負(fù)壓稱(chēng)量罩也采用垂直單向氣流形式。回流空氣應(yīng)通過(guò)初效和中效過(guò)濾器進(jìn)行預(yù)過(guò)濾，以除去空氣流中的大灰塵顆粒，從而保護(hù)高效過(guò)濾器。在離心風(fēng)機(jī)提供的壓力下，經(jīng)過(guò)預(yù)處理的空氣通過(guò)高效過(guò)濾器，從而可以達(dá)到10000級(jí)清潔度的要求。清潔的空氣流被送至供氣箱，其中85％?90％穿過(guò)均勻的供氣網(wǎng)孔板，形成均勻的垂直供氣，其中10％?15％穿過(guò)空氣量調(diào)節(jié)板卸下設(shè)備。所有氣流均通過(guò)高效過(guò)濾器進(jìn)行處理，因此空氣供應(yīng)和排氣中均無(wú)殘留灰塵，避免了二次污染。由于在工作區(qū)域中形成了穩(wěn)定的單向流，在該區(qū)域中散發(fā)的灰塵將在單向流的影響下被初級(jí)和中效過(guò)濾器連同流線(xiàn)一起捕獲。設(shè)備配備了10％?15％的廢氣，在一定程度上相對(duì)于外部環(huán)境形成負(fù)壓，確保該區(qū)域的灰塵不會(huì)擴(kuò)散到室外，起到保護(hù)外部的作用環(huán)境。